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Nanofabrication at a 10 nm length scale: Limits of lift-off and electroplating transfer processes

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作者
Anne‐Marie Haghiri‐Gosnet,C. Vieu,G. Simon,M. Mejias,F. Carcenac,H. Launois
出处
期刊：Journal de physique [EDP Sciences]
日期：1999-02-01 卷期号：09 (PR2): Pr2-133 被引量：20
标识
DOI：10.1051/jp4:1999214
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