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Analysis of amine contamination on silicon oxide surfaces using ToF-SIMS

污染 薄脆饼 二次离子质谱法 硅 胺气处理 热脱附 化学 环境化学 质谱法 材料科学 解吸 色谱法 纳米技术 有机化学 吸附 生物 生态学
作者
D. Lu,Z. Q. Mo,Zhenxiang Xing,D. Gui
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2004-06-01 卷期号：233 (1-4): 352-359 被引量：8
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2004.03.248
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