三氯氢硅
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作者
Hitoshi Habuka,Takahiro Suzuki,Sunao Yamamoto,Akio Nakamura,Takashi Takeuchi,Masahiko Aihara
出处
期刊:Thin Solid Films
[Elsevier BV]
日期:2005-06-25
卷期号:489 (1-2): 104-110
被引量:34
标识
DOI:10.1016/j.tsf.2005.04.121
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