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Correlation between stoichiometry and properties of scandium oxide films prepared by reactive magnetron sputtering

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作者
Alexandr Belosludtsev,Kęstutis Juškevičius,Lukas Ceizaris,Romanas Samuilovas,Sandra Stanionytė,Vitalija Jasulaitienė,Simonas Kičas
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2017-08-16 卷期号：427: 312-318 被引量：35
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2017.08.068
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