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Effect of post-deposition annealing on the optical and mechanical properties of amorphous tungsten oxynitride thin films
作者
O.R. Nunez,
A.J. Moreno Tarango,
K. Hossain,
Chintalapalle V. Ramana
出处
期刊：
Surface & Coatings Technology
[Elsevier BV]
日期：2016-09-20
卷期号：308: 195-202
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.surfcoat.2016.07.106
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