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Plasma etching behavior of Y2O3 ceramics: Comparative study with Al2O3

蚀刻（微加工）涂层 X射线光电子能谱材料科学图层（电子）等离子体刻蚀放电等离子烧结多孔性复合材料化学工程陶瓷工程类

作者

Yu-Chao Cao,Lei Zhao,Jin Luo,Ke Wang,Bo‐Ping Zhang,Hiroki Yokota,Yoshiyasu Ito,Jing‐Feng Li

出处

期刊：Applied Surface Science [Elsevier BV]
日期：2016-01-14 卷期号：366: 304-309 被引量：117

标识

DOI：10.1016/j.apsusc.2016.01.092

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