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Plasma etching behavior of Y2O3 ceramics: Comparative study with Al2O3

蚀刻（微加工） 涂层 X射线光电子能谱 材料科学 图层（电子） 等离子体刻蚀 放电等离子烧结 多孔性 复合材料 化学工程 陶瓷 工程类
作者
Yu-Chao Cao,Lei Zhao,Jin Luo,Ke Wang,Bo‐Ping Zhang,Hiroki Yokota,Yoshiyasu Ito,Jing‐Feng Li
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2016-01-14 卷期号：366: 304-309 被引量：117
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2016.01.092
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