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作者
Nguyễn Văn Toàn,
N. Tran,
Trương Thị Kim Tươi,
Suhana Mohd Said,
Mohd Faizul Mohd Sabri,
Takahito Ono
出处
期刊:
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期:2025-04-30
卷期号:195: 109622-109622
标识
DOI:10.1016/j.mssp.2025.109622
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