Research on deep trench capacitor structure design and its effect on capacitance density and breakdown voltage

电容 沟槽 电容器 击穿电压 材料科学 电气工程 电压 光电子学 电子工程 工程物理 工程类 复合材料 物理 电极 量子力学 图层(电子)
作者
Pengsen Wang,Z.N. Lei,Chunmin Cheng,Wei Shen,Daowei Wu,Kang Liang
标识
DOI:10.1109/icept63120.2024.10668657
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