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作者
Hiroyuki Kodama,
Takao Mendori,
Yuta Watanabe,
Kazuhito Ohashi
出处
期刊:
Precision Engineering-journal of The International Societies for Precision Engineering and Nanotechnology
[Elsevier]
日期:2023-08-21
卷期号:84: 162-176
被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.precisioneng.2023.08.004
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