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Design of Concentric Cylindrical Surrounding Double-Gate (CSDG) MOSFETs – A Fabrication Perspective in Nanoscale Regime

材料科学 制作 MOSFET 光电子学 蚀刻（微加工） 晶体管 半导体 掺杂剂 纳米技术 图层（电子） 电气工程 电压 兴奋剂 医学 替代医学 病理 工程类
作者
Naveenbalaji Gowthaman,Viranjay M. Srivastava
出处
期刊：Silicon [Springer Science+Business Media]
日期：2022-10-28 卷期号：15 (5): 2439-2449 被引量：3
标识
DOI：10.1007/s12633-022-02182-9
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