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Characterization of single crystal diamond damaged layer induced by ion implantation and restored by varying annealing conditions

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作者
Jiao Fu,Qin Lü,Li Guo,Fengnan Li,Wang Fei,Ruo-Zheng Wang,Tianfei Zhu,Zongchen Liu,Daming Chen,Garuma Abdisa,Hongxing Wang
出处
期刊：Micro and nanostructures 日期：2022-11-05 卷期号：172: 207442-207442 被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.micrna.2022.207442
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