Analysis and simulation of bulk polarization mechanism in p-GaN HEMT with AI component gradient buffer layer

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作者
Shijin Liu,Ying Wang,Xin-Xing Fei,Chenghao Yu,Haomin Guo
出处
期刊:Semiconductor Science and Technology [IOP Publishing]
卷期号:39 (7): 075021-075021 被引量:3
标识
DOI:10.1088/1361-6641/ad5580
摘要

Abstract In this paper,bulk polarization mechanism and radiation simulation of the Al component gradient buffer layer (GBL) and constant buffer layer (CBL) of p-GaN HEMT (p-GaN GBL-HEMT and p-GaN CBL-HEMT) are analyzed and studied. It is found that the p-GaN GBL-HEMT can significantly reduce the buffer leakage current. The linear gradient amplitude (the range of linear gradients of Al components vertically in the buffer) of 20%–25% Al components can significantly increase the breakdown voltage ( V BK ) of the device, up to 1312 V. Simultaneously, although the p-GaN GBL-HEMT reduces the 2DEG concentration, the device still has a specific on-resistance ( R ON,sp ) and drain saturation current ( I DS,sat ) equivalent to the p-GaN CBL-HEMT due to the conductivity modulation effect. Its Baliga figure of merit is up to 2.27 GW cm −2 . Finally, through the SEE simulation and the bulk polarization mechanism analysis, it is found that the drain transient current ( I DS,trans ) by the identical incident particles in the p-GaN GBL-HEMT is lower than that in the p-GaN CBL-HEMT, and the I DS,trans decreases with the increase of the Al components gradient amplitude. Therefore, the p-GaN GBL-HEMT provides a new idea for improving the electrical performance and SEE hardening.
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