Mechanism of electrical performance deterioration in a-Si:H TFTs caused by source/drain Decap treatment

材料科学 机制(生物学) 光电子学 工程物理 工程类 物理 量子力学
作者
Wenxiang Chen,Xu Luo,Dan Liu,Faling Ling,Fang Wu,Gaobin Liu,Shufang Zhang,Hong Zhang,Wanjun Li,Liang Fang
出处
期刊:Microelectronics Reliability [Elsevier BV]
卷期号:156: 115379-115379 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.microrel.2024.115379
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