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Mechanism of electrical performance deterioration in a-Si:H TFTs caused by source/drain Decap treatment
材料科学
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作者
Wenxiang Chen,
Xu Luo,
Dan Liu,
Faling Ling,
Fang Wu,
Gaobin Liu,
Shufang Zhang,
Hong Zhang,
Wanjun Li,
Liang Fang
出处
期刊：
Microelectronics Reliability
[Elsevier BV]
日期：2024-04-03
卷期号：156: 115379-115379
被引量：3
标识
DOI：10.1016/j.microrel.2024.115379
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