化学气相沉积
外延
材料科学
卤化物
过程（计算）
光电子学
沉积（地质）
燃烧化学气相沉积
化学工程
薄膜
化学
纳米技术
无机化学
碳膜
计算机科学
工程类
古生物学
图层（电子）
沉积物
生物
操作系统
作者
Yoshiaki Daigo,Keisuke Kurashima,Shigeaki Ishii,Ichiro Mizushima
出处
期刊：IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
[Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2024-01-01
卷期号：: 1-1
标识
DOI：10.1109/tsm.2024.3395361
科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
rocky15
shinysparrow
cctv18
OCDer
互助遵法尚德
酸化土壤改良
去火星种一颗芋头
寻道图强
Leo有疑问请留言_别着急驳回
scot
紫金大萝卜
Solomon
DY
gjww
Kk
leexk
沫豆
敬老院1号
sswbzh
hwx431
皖公网安备34019202002308
