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Observation and Suppression of Growth Pits Formed on 4H-SiC Epitaxial Films Grown Using Halide Chemical Vapor Deposition Process
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作者
Yoshiaki Daigo,
Keisuke Kurashima,
Shigeaki Ishii,
Ichiro Mizushima
出处
期刊：
IEEE Transactions on Semiconductor Manufacturing
[IEEE Computer Society]
日期：2024-04-30
卷期号：37 (3): 402-404
被引量：2
标识
DOI：10.1109/tsm.2024.3395361
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