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Density functional theory study of the SiF molecule adsorption and decomposition on p(2×2) reconstructed Si(001) surface

吸附悬空债券分子氟化学 Atom（片上系统）硅密度泛函理论分解扩散物理化学原子物理学表面扩散计算化学结晶学热力学嵌入式系统有机化学物理计算机科学

作者

L. Bouamama,A. Lounis,A. Mokrani,A. Ziane,S. Bouarab,A. Rhallabi

出处

期刊：Surface Science [Elsevier]
日期：2020-03-17 卷期号：697: 121602-121602 被引量：4

标识

DOI：10.1016/j.susc.2020.121602

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