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Precise etching technique for InGaN/GaN nanostructure LEDs by combination of saturated ozone water oxidation and buffered oxide etching

材料科学 纳米结构 发光二极管 蚀刻（微加工） 氧化物 臭氧 光电子学 纳米技术 冶金 化学 图层（电子） 有机化学
作者
Kohei Ogawa,Shun Ishijima,Yusuke Namae,Akihiro Matsuoka,Tomoya Mizutani,Akihiko Kikuchi
出处
期刊：The Japan Society of Applied Physics 日期：2017-02-03
链接
atlas.jp
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