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Integrated plasma processing simulation framework, linking tool scale plasma models with 2D feature scale etch simulator
比例（比率）
等离子体
计算机科学
特征（语言学）
模拟
物理
哲学
语言学
量子力学
作者
Maik Hauguth,
B. Volland,
Valentyn Ishchuk,
Dirk Dressler,
T. Danz,
Ivo W. Rangelow,
George Kokkoris,
Εvangelos Gogolides,
Andy Goodyear,
Mike Cooke
出处
期刊：
Microelectronic Engineering
[Elsevier BV]
日期：2009-02-13
卷期号：86 (4-6): 976-978
被引量：9
标识
DOI：10.1016/j.mee.2009.02.012
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