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Experiment and numerical simulation of melt convection and oxygen distribution in 400-mm Czochralski silicon crystal growth

材料科学 硅 坩埚（大地测量学） Crystal（编程语言） 傅里叶变换红外光谱 硼 分析化学（期刊） 光电子学 化学工程 化学 计算机科学 色谱法 工程类 计算化学 有机化学 程序设计语言
作者
Ran Teng,Yang Li,Bin Cui,Qing Chang,Qinghua Xiao,Guohu Zhang
出处
期刊：Rare Metals [Springer Science+Business Media]
日期：2017-01-07 卷期号：36 (2): 134-141 被引量：7
标识
DOI：10.1007/s12598-016-0865-6
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