Optical diagnostic of LiNbO3 etching in NF3/Ar ICP plasma: Part I

化学 分析化学(期刊) 感应耦合等离子体 蚀刻(微加工) 体积流量 辐射计 等离子体 等离子体刻蚀 反应离子刻蚀 图层(电子) 色谱法 量子力学 物理 有机化学
作者
Artem A. Osipov,Artem A. Osipov,Sergey Alexandrov,Vladimir Berezenko,Anastasiya Speshilova,A. А. Osipov,A. А. Osipov,A. А. Osipov
出处
期刊:Sensors and Actuators A-physical [Elsevier BV]
卷期号:337: 113146-113146 被引量:7
标识
DOI:10.1016/j.sna.2021.113146
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