Filamentary, patterned, and diffuse barrier discharges

等离子体 介质阻挡放电 材料科学 准分子 臭氧 激光器 大气压力 光电子学 环境科学 化学物理 电介质 光学 化学 物理 气象学 有机化学 量子力学
作者
U. Kogelschatz
出处
期刊:IEEE Transactions on Plasma Science [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:30 (4): 1400-1408 被引量:672
标识
DOI:10.1109/tps.2002.804201
摘要

Barrier discharges, also known as dielectric-barrier discharges or silent discharges, provide a simple technology to establish nonequilibrium plasma conditions in atmospheric-pressure gases. This property has led to a number of industrial applications, including ozone generation, surface modification, pollution control, CO/sub 2/ lasers, excimer lamps, and flat plasma-display panels. Depending on a variety of gas properties, operating parameters, and boundary conditions, the discharge can exhibit pronounced filamentary character, self-organized regular-discharge patterns, or completely diffuse appearance. The literature on these different types of barrier discharges is reviewed, and the underlying physical phenomena are discussed. Relative recent investigations on low-current density diffuse barrier discharges suggest novel applications of fairly "mild" plasmas for sterilization and disinfection purposes and utilizing their selective influence on biological cells.
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