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Growth of hexagonal boron nitride thin films on c-plane sapphire substrates by low pressure chemical vapor deposition using a cold-wall CVD-reactor
作者
Taira Watanabe,
Kazuki Matsushita,
Yūki Tanaka,
Riku YOSHIOKA,
Katsumi Masuda,
Hiroko Kominami,
Kazuhiko Hara
出处
期刊:The Japan Society of Applied Physics
[Japan Society of Applied Physics]
日期:2021-01-26
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