A Study on the Evaluation of Titanium Coating Characteristics according to Deposition Pressure

본 논문은 AL7075-T7351 합금재료에 DC 마그네트론 스퍼터링(direct current magnetron sputtering) 법으로 티타늄 코팅을 증착시켜 마모 특성을 향상하고 코팅재로서 항공기 응용 분야에 적용하고자 한다. 티타늄 박막 증착 후 마찰 마모실험, 경도측정, 접착강도 실험을 수행한 결과 증착시간 90분, 2mTorr에서 마찰계수 및 접착강도 특성이 우수하였다. 티타늄 박막 증착 시 공정조건에 따라 내마모성은 크게 달라진다. 증착압력이 낮아질수록 평균 마찰계수가 낮고 마모량은 적었으며 경도와 접착강도는 향상됐다.