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Interface characteristics comparison of sapphire direct and indirect wafer bonded structures by transmission electron microscopy

蓝宝石 材料科学 无定形固体 透射电子显微镜 薄脆饼 直接结合 晶片键合 蓝宝石上的硅 光电子学 纳米技术 结晶学 光学 硅 化学 激光器 物理 绝缘体上的硅
作者
Wangwang Li,Ting Liang,Wenyi Liu,Cheng Lei,Yingping Hong,Yongwei Li,Zhiqiang Li,Jijun Xiong
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2019-07-16 卷期号：494: 566-574 被引量：10
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2019.07.130
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