Construction of Core–Shell Nanowire Arrays in a Cu–Cu2O Film Electrode for High Efficiency in Heat Dissipation

材料科学 纳米线 热导率 微电子 传热 热稳定性 电极 传热系数 消散 壳体(结构) 光电子学 复合材料 纳米技术 热力学 化学工程 化学 物理 物理化学 工程类
作者
Lili Cao,Wei Zhu,Biao Luo,Min Miao,Liyuan Wang,Hao Zhang,Yuan Deng
出处
期刊:ACS Applied Materials & Interfaces [American Chemical Society]
卷期号:12 (3): 3836-3846 被引量:10
标识
DOI:10.1021/acsami.9b17103
摘要

Thermal engineering dramatically impacts the efficiency of microelectronics, but the corresponding technology lags far behind the need. For energy-efficient thermal management, a Cu–Cu2O film with highly ordered core–shell nanowire arrays and a good self-protection property was successfully fabricated using the magnetron sputtering method. The dense arrangement of nanowires in the films enhances the electronic transport property (220 mΩ sq–1), while the modified stable Cu2O layer maintained its perfect heat dissipation property, along with long-term thermal stability. The core–shell and nanogaps structure imparted an anisotropic thermal conductivity, where the out-plane electronic thermal conductivity (321 ± 16 W m–1 K–1) was 33.6 times higher than the in-plane value. To study the role of anisotropic properties in heat dissipation, a boiling experiment and thermal simulation were undertaken. The Cu–Cu2O core–shell electrode was beneficial to elevate the heat transfer coefficient, which would cause a fast directional transport and reduction of interfacial superheating. We demonstrated that an advancement of microelectronics could be achieved by integrating Cu electrodes with an ordered architecture.
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