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Study on the internal field and conduction mechanism of atomic layer deposited ferroelectric Hf0.5Zr0.5O2 thin films
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作者
Min Hyuk Park,
Hong Jip Kim,
Yoon Jun Kim,
Taehwan Moon,
Kyung Do Kim,
Y. H. Lee,
Sangjin Hyun,
Cheol Seong Hwang
出处
期刊：
Journal of Materials Chemistry C
[Royal Society of Chemistry]
日期：2015-01-01
卷期号：3 (24): 6291-6300
被引量：114
标识
DOI：10.1039/c5tc01074h
摘要
The effects of the internal field and conduction mechanism of carriers in ferroelectric Hf
0.5
Zr
0.5
O
2
thin films are systematically investigated by controlling the in-depth profile of oxygen vacancy concentrations.
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