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Influence of metal electrodes on crystal orientation of aluminum nitride thin films

结晶度材料科学氮化物电极铝薄膜金属溅射氮化铝晶体结构 Crystal（编程语言）溅射沉积复合材料结晶学冶金纳米技术图层（电子）化学物理化学计算机科学程序设计语言

作者

Morito Akiyama,Keigo Nagao,Naohiro Ueno,Hiroshi Tateyama,Tetsuo Yamada

出处

期刊：Vacuum [Elsevier BV]
日期：2004-02-28 卷期号：74 (3-4): 699-703 被引量：81

标识

DOI：10.1016/j.vacuum.2004.01.052

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