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Nonlinear electrostatic behavior for two elastic parallel fixed–fixed and cantilever microbeams

悬臂梁 线性化 非线性系统 微电子机械系统 电压 残余物 材料科学 机械 数学 物理 复合材料 纳米技术 算法 量子力学
作者
Ghader Rezazadeh,Ahmadali Tahmasebi,Saeed Ziaei‐Rad
出处
期刊：Mechatronics [Elsevier BV]
日期：2009-06-04 卷期号：19 (6): 840-846 被引量：12
标识
DOI：10.1016/j.mechatronics.2009.04.008
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