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Design and Fabrication of a MEMS-based Multi-sensor with ThreeIntegrated Functions

微电子机械系统制作材料科学计算机科学纳米技术医学替代医学病理

作者

Duk-Soo Eun,Daeyoung Kong,Jang-Kyoo Shin,Jong‐Hyun Lee,In-Sik Yu

出处

期刊：Journal of the Korean Physical Society [Springer Science+Business Media]
日期：2009-09-15 卷期号：55 (3(1)): 971-977 被引量：1

标识

DOI：10.3938/jkps.55.971

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