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Large grain polycrystalline Si thin films by nucleation-controlled chemical vapor deposition using intermittent source gas supply

成核 粒度 薄膜 材料科学 微晶 晶界 化学气相沉积 沉积（地质） 化学工程 复合材料 光电子学 纳米技术 化学 冶金 微观结构 有机化学 沉积物 古生物学 工程类 生物
作者
Tsutomu Yamazaki,Yukiharu Uraoka,Takashi Fuyuki
出处
期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2005-03-22 卷期号：487 (1-2): 26-30 被引量：20
标识
DOI：10.1016/j.tsf.2005.01.029
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