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Femtosecond laser direct writing of a 3D microcantilever on the tip of an optical fiber sensor for on-chip optofluidic sensing

飞秒 材料科学 光纤 实验室晶片 微流控 炸薯条 激光器 光电子学 纤维 纳米技术 光学 计算机科学 复合材料 电信 物理
作者
Changxu Li,Yi Liu,Changpeng Lang,Yong‐Lai Zhang,Shiliang Qu
出处
期刊：Lab on a Chip [The Royal Society of Chemistry]
日期：2022-01-01 卷期号：22 (19): 3734-3743 被引量：18
链接
nih.govdoi.org
标识
DOI：10.1039/d2lc00625a
摘要
A microcantilever is fabricated by femtosecond laser direct writing for on-chip optofluidic sensing.
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