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Data-Driven Device Design Framework for Semiconductor Manufacturing With Dual-Hierarchy DNN Prediction Scheme and PSO

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作者
Haimei Tang,Chenggang Xu,Yuxuan Zhu,Yue Cheng,Xuanzhi Jin,Yunlong Li,Dawei Gao,Yitao Ma,Kai Xu
出处
期刊：IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
日期：2025-01-01 卷期号：: 1-10
标识
DOI：10.1109/ted.2025.3556049
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