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Impact of inductively coupled plasma injection on capacitively coupled plasma with a ring-shaped hollow cathode using methane and hydrogen mixture gases

感应耦合等离子体 等离子体 容性耦合等离子体 氢 甲烷 阴极 化学 分析化学（期刊） 戒指（化学） 材料科学 环境化学 物理化学 物理 有机化学 量子力学
作者
Yasunori Ohtsu,Tatsuo Tabaru,Julian Schulze
出处
期刊：Vacuum [Elsevier]
日期：2025-02-01 卷期号：: 114159-114159
标识
DOI：10.1016/j.vacuum.2025.114159
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