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Insight into the evolution upon ionization from tin-oxo cage photoresist and counterions by DFT calculation

化学 极紫外光刻 光刻胶 锡 笼子 反离子 紫外线 电离 离子 纳米技术 光电子学 有机化学 物理 组合数学 材料科学 数学 图层（电子）
作者
Fangling Yang,Zongbiao Ye,Yuqi Chen,Minghui Wang,Panpan Zhou,Fujun Gou
出处
期刊：New Journal of Chemistry [Royal Society of Chemistry]
日期：2023-01-01 卷期号：47 (37): 17244-17251 被引量：4
标识
DOI：10.1039/d3nj01464a
摘要
The tin-oxo cage ([R 12 Sn 12 O 14 (OH) 6 ] 2+ ) is an excellent photoresist candidate in extreme ultraviolet lithography (EUVL). And its' performance is closely related to the counterions.
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