A Refined Ladder Transmission Line Model for the Extraction of Significantly Low Specific Contact Resistivity

符号 乘法函数 算法 萃取(化学) 输电线路 直线(几何图形) 数学 数学分析 电气工程 工程类 几何学 算术 化学 色谱法
作者
Xianglie Sun,Jun Luo,Yaodong Liu,Jing Xu,Jianfeng Gao,Jinbiao Liu,Xuebing Zhou,Yan‐Ping He,Mengjuan Kong,Yongliang Li,Junfeng Li,Wenwu Wang,Tianchun Ye
出处
期刊:IEEE Transactions on Electron Devices [Institute of Electrical and Electronics Engineers]
卷期号:70 (1): 209-214 被引量:4
标识
DOI:10.1109/ted.2022.3221380
摘要

In this article, a refined ladder transmission line model (R-LTLM) test structure capable of extracting significantly low specific contact resistivity ( $\rho _{c}$ ) eliminating parasitic metal resistance is proposed. Theoretical derivations, technology computer-aided design (TCAD) simulations, and experiments are performed to verify the validity and superiority of R-LTLM. Compared with refined transmission line model (RTLM) and ladder transmission line model (LTLM), R-LTLM not only achieves higher extraction accuracy than RTLM but also relieves the impact of process variation during the formation of contact area patterns and contact spacings. Moreover, the impacts of process variation on the extraction of $\rho _{c}$ using LTLM and R-LTLM are analyzed. As for experimental verification, RTLM, LTLM, and R-LTLM test structures are fabricated to extract $\rho _{c}$ of TiSix/ $\text{n}^{+}$ -Si Ohmic contacts. Results show that R-LTLM can eliminate parasitic metal resistance, leading to higher extraction accuracy than RTLM.

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
111完成签到,获得积分10
刚刚
万能图书馆应助追寻猫咪采纳,获得10
刚刚
SciGPT应助liujian采纳,获得10
1秒前
haha发布了新的文献求助10
1秒前
YXM1完成签到,获得积分10
2秒前
2秒前
3秒前
3秒前
ding应助文文采纳,获得10
3秒前
FashionBoy应助风中的丝袜采纳,获得10
3秒前
JamesPei应助embneural采纳,获得10
3秒前
无情的笑阳完成签到,获得积分10
4秒前
4秒前
Lapetes发布了新的文献求助10
4秒前
5秒前
5秒前
6秒前
6秒前
气味完成签到 ,获得积分10
7秒前
丘比特应助朴素黑猫采纳,获得10
7秒前
草帽发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
9秒前
YC关闭了YC文献求助
9秒前
9秒前
10秒前
10秒前
失眠的莺发布了新的文献求助10
11秒前
科研通AI6.1应助刘晓龙采纳,获得10
11秒前
11秒前
Kylin发布了新的文献求助10
12秒前
13秒前
13秒前
13秒前
xx发布了新的文献求助10
13秒前
qcck发布了新的文献求助10
13秒前
13秒前
爱听歌的自中完成签到,获得积分20
14秒前
NIN完成签到 ,获得积分10
15秒前
小小鱼发布了新的文献求助10
15秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
Modern Epidemiology, Fourth Edition 5000
Kinesiophobia : a new view of chronic pain behavior 5000
Molecular Biology of Cancer: Mechanisms, Targets, and Therapeutics 3000
Digital Twins of Advanced Materials Processing 2000
Weaponeering, Fourth Edition – Two Volume SET 2000
Signals, Systems, and Signal Processing 610
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 工程类 有机化学 纳米技术 化学工程 生物化学 物理 计算机科学 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 冶金 细胞生物学 基因
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6017348
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 7602028
关于积分的说明 16155790
捐赠科研通 5165128
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2764814
邀请新用户注册赠送积分活动 1746124
关于科研通互助平台的介绍 1635165