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Machine learning assisted calibration of PVT simulations for SiC crystal growth

校准 Crystal（编程语言） 材料科学 计算机科学 纳米技术 数学 统计 程序设计语言
作者
Lorenz Taucher,Zaher Ramadan,René Hammer,Thomas Obermüller,P. Auer,Lorenz Romaner
出处
期刊：CrystEngComm [Royal Society of Chemistry]
日期：2024-01-01 被引量：1
标识
DOI：10.1039/d4ce00866a
摘要
Numerical simulations are frequently utilized to investigate and optimize the complex and hardly in-situ examinable Physical Vapor Transport (PVT) method for SiC single crystal growth. Since various process and quality-related...
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