Solution processed zirconium oxide dielectric thin films for electronic applications

材料科学 电介质 氧化锆 薄膜 氧化物 光电子学 纳米技术 工程物理 冶金 工程类
作者
Tahsinul Huq,Yew Hoong Wong,Joon Huang Chuah,Prastika Krisma Jiwanti,Waqar Azeem,Chee‐Keong Tan
出处
期刊:Journal of Materials Science: Materials in Electronics [Springer Science+Business Media]
卷期号:35 (20)
标识
DOI:10.1007/s10854-024-13136-9
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