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TiB1.8 single layers and epitaxial TiB2-based superlattices by magnetron sputtering using a TiB (Ti:B = 1:1) target

超晶格外延材料科学溅射沉积腔磁控管光电子学溅射冶金复合材料薄膜纳米技术图层（电子）

作者

Samira Dorri,Justinas Pališaitis,S. Kolozsvári,P. Polcik,Per O. Å. Persson,Naureen Ghafoor,Fredrik Eriksson,Jens Birch

出处

期刊：Surface & Coatings Technology [Elsevier BV]
日期：2024-10-01 卷期号：494: 131534-131534 被引量：1

标识

DOI：10.1016/j.surfcoat.2024.131534

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