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Synergistic effect of LABSA/JFCE combined surfactant system on the removal of particles on copper wafer surface

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作者
Da Yin,Siyu Tian,Nannan Zhang,Qi Wang,Xiaoqin Sun,Mengrui Liu,Shihao Zhang,Baimei Tan
出处
期刊：Materials Chemistry and Physics [Elsevier BV]
日期：2020-09-18 卷期号：257: 123841-123841 被引量：17
标识
DOI：10.1016/j.matchemphys.2020.123841
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