Preparation of Octyltrimethoxysilane Modified SiO$lt;inf$gt;2$lt;/inf$gt; Hydrophobic Antireflective Coating

牛彦彦 1 , 王晓栋 2 , 姚兰芳 1 , 田冰涛 2 , 冯建斌 1 , 曹媛媛 2 , 张清华 3 , 沈 军 2 (1.上海理工大学 理学院, 上海 200093; 2. 同济大学 物理科学与工程学院, 上海市特殊人工微结构材料与技术重 点实验室, 上海 200092; 3. 成都精密光学工程研究中心, 成都 610041) 摘 要: 以正硅酸乙酯为前驱体, 氨水为催化剂制备标准 SiO 2 溶胶, 然后在回流前后分别对普通 SiO 2 溶胶添加适量 的辛基三甲氧基硅烷(OTMS)进行修饰, 得到 OTMS 改性 SiO 2