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Etch characteristics of indium zinc oxide thin films using inductively coupled plasma of a Cl2/Ar gas

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作者

Do Young Lee,Chee Won Chung

出处

期刊：Thin Solid Films [Elsevier BV]
日期：2009-02-05 卷期号：517 (14): 4047-4051 被引量：8

标识

DOI：10.1016/j.tsf.2009.01.136

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