Effect of TaN buffer layer on the sensitivity of ASIC-integrated AMR sensors

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作者
Jinpeng Tian,Zhixing Zhang,Wenyu Hou,Zhe Wang,Guangshuai Yang,Shunpu Li,Qiuming Song,Xueying Zhang,Yulong Chen,Zhijian Lv,Wenwei Zhang,Jia Yuan
出处
期刊:Journal of Magnetism and Magnetic Materials [Elsevier BV]
卷期号:585: 171126-171126 被引量:3
标识
DOI:10.1016/j.jmmm.2023.171126
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