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Structure and Phase Formation in Arc PVD Zr–B–Si–C–Ti–(N) Coatings

材料科学 锆 无定形固体 纳米晶材料 硼化物 氮化物 冶金 物理气相沉积 涂层 钛 化学工程 结晶学 复合材料 化学 纳米技术 图层（电子） 工程类
作者
Д. С. Белов,И. В. Блинков,В. С. Сергевнин,А. В. Черногор,А. П. Демиров,A. M. Polyanskiǐ
出处
期刊：Inorganic Materials [Springer Nature]
日期：2023-02-01 卷期号：59 (2): 157-163 被引量：1
标识
DOI：10.1134/s0020168523020036
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