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Polymerization mechanisms of hexamethyldisiloxane in low-pressure plasmas involving complex geometries

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作者
Paula Navascués,Martina Buchtelová,Lenka Zajı́čková,Patrick Rupper,Dirk Hegemann
出处
期刊：Applied Surface Science [Elsevier]
日期：2023-11-03 卷期号：645: 158824-158824 被引量：15
链接
els-cdn.com handle.net lib4ri.chdoi.org
标识
DOI：10.1016/j.apsusc.2023.158824
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