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蚀刻（微加工）
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化学
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作者
Ouyang Lin,
Yangyang Bian,
Jie Chen,
Li Yu,
Shuaibing Wang,
Zhongwei Man,
Feng Teng,
Aiwei Tang
出处
期刊：
Nano Research
[Springer Science+Business Media]
日期：2025-06-30
卷期号：18 (9): 94907735-94907735
链接
sciopen.com
doi.org
标识
DOI：10.26599/nr.2025.94907735
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