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A MEMS piezoresistive sensor with integrated temperature self-compensation and enhanced structural design for micro-pressure detection
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作者
Chunyang Li,
Xu Ru,
Lin Qin,
Zirong He,
Minqiang Li,
Yuanlin Xia,
Cao Xia,
Zhuqing Wang
出处
期刊：
Sensors and Actuators A-physical
[Elsevier BV]
日期：2025-10-01
卷期号：404: 117090-117090
被引量：1
标识
DOI：10.1016/j.sna.2025.117090
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