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Study of ArF phase shift masks radiation damage induced scum defect
材料科学
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辐射损伤
相（物质）
辐照
辐射
光学
物理
核物理学
量子力学
作者
Yuan‐Man Hsu,
Kao-Feng Tsai,
Angus Chin,
David Wang
标识
DOI：10.1117/12.3010170
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