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Microcrystalline Si films deposited from dichlorosilane using RF-PECVD
作者
Lihui Guo,
Michio Kondo,
Akihisa Matsuda
出处
期刊：
Solar Energy Materials and Solar Cells
[Elsevier BV]
日期：2001-02-01
卷期号：66 (1-4): 405-412
标识
DOI：10.1016/s0927-0248(00)00201-4
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