Surface phenomena related to mirror degradation in extreme ultraviolet (EUV) lithography

极紫外光刻 极端紫外线 平版印刷术 光学 材料科学 抵抗 光电子学 辐射 光刻 紫外线 纳米技术 物理 激光器 图层(电子)
作者
Theodore E. Madey,N. S. Faradzhev,B. V. Yakshinskiy,N. V. Edwards
出处
期刊:Applied Surface Science [Elsevier BV]
卷期号:253 (4): 1691-1708 被引量:120
标识
DOI:10.1016/j.apsusc.2006.04.065
最长约 10秒,即可获得该文献文件

科研通智能强力驱动
Strongly Powered by AbleSci AI
科研通是完全免费的文献互助平台,具备全网最快的应助速度,最高的求助完成率。 对每一个文献求助,科研通都将尽心尽力,给求助人一个满意的交代。
实时播报
liu发布了新的文献求助10
1秒前
2秒前
LHC发布了新的文献求助10
2秒前
3秒前
3秒前
4秒前
4秒前
烟花应助典雅的悟空采纳,获得10
5秒前
6秒前
哈哈哈发布了新的文献求助10
8秒前
8秒前
於傲松应助Jodie采纳,获得10
8秒前
鲁万仇发布了新的文献求助10
8秒前
香芋发布了新的文献求助10
9秒前
9秒前
9秒前
Akim应助THEL1GHT采纳,获得10
9秒前
卫齐奢发布了新的文献求助10
11秒前
xing发布了新的文献求助10
12秒前
无花果应助LHC采纳,获得10
13秒前
天真的小亚完成签到,获得积分10
13秒前
Owen应助答案加载中采纳,获得10
13秒前
14秒前
lgh19950929发布了新的文献求助10
14秒前
Owen应助滕隐采纳,获得10
15秒前
谢雨晨发布了新的文献求助10
16秒前
17秒前
慕青应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
香蕉觅云应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
JamesPei应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
CipherSage应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
Owen应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
CodeCraft应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
科研通AI2S应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
17秒前
17秒前
共享精神应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
顾矜应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
嘉心糖应助科研通管家采纳,获得10
17秒前
17秒前
高分求助中
(应助此贴封号)【重要!!请各用户(尤其是新用户)详细阅读】【科研通的精品贴汇总】 10000
AnnualResearch andConsultation Report of Panorama survey and Investment strategy onChinaIndustry 1000
Continuing Syntax 1000
Signals, Systems, and Signal Processing 610
简明药物化学习题答案 500
Quasi-Interpolation 400
脑电大模型与情感脑机接口研究--郑伟龙 400
热门求助领域 (近24小时)
化学 材料科学 医学 生物 纳米技术 工程类 有机化学 化学工程 生物化学 计算机科学 物理 内科学 复合材料 催化作用 物理化学 光电子学 电极 细胞生物学 基因 无机化学
热门帖子
关注 科研通微信公众号,转发送积分 6275537
求助须知:如何正确求助?哪些是违规求助? 8095349
关于积分的说明 16922797
捐赠科研通 5345337
什么是DOI,文献DOI怎么找? 2841980
邀请新用户注册赠送积分活动 1819213
关于科研通互助平台的介绍 1676498