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Development of PECVD SiC for MEMS Using 3MS as the Precursor

材料科学 复合材料 表面微加工 微电子机械系统 等离子体增强化学气相沉积 残余应力 退火（玻璃） 纳米压痕 体微机械加工 碳化硅 薄膜 制作 光电子学 纳米技术 病理 医学 替代医学
作者
Jiangang Du,Neha Singh,James Bradley Summers,Christian A. Zorman
出处
期刊：MRS Proceedings [Springer Nature]
日期：2006-01-01 卷期号：911 被引量：9
标识
DOI：10.1557/proc-0911-b05-28
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