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作者
Hamed Moradi,
Mohammad Haghighi,
Gholamreza Foroutan,
Maryam Shabani
出处
期刊：
Materials Science in Semiconductor Processing
[Elsevier BV]
日期：2026-01-08
卷期号：206: 110398-110398
标识
DOI：10.1016/j.mssp.2025.110398
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